最新發現與創新 科(ke)技(ji)日(ri)報訊 (記者陳(chen)瑜)高性(xing)能耳(er)溫(wen)槍(qiang)(qiang)、額溫(wen)槍(qiang)(qiang)等非接觸式測溫(wen)工具(ju)是當前(qian)對大規模人員(yuan)進(jin)行(xing)發熱篩查(cha)的主要(yao)工具(ju)之一，其核心部件MEMS(微機電(dian)(dian)系統(tong))紅外溫(wen)度(du)傳感器(qi)長期主要(yao)依賴進(jin)口。近日(ri)，中國兵器(qi)工業集團電(dian)(dian)子院華東光電(dian)(dian)集成器(qi)件研究所通過技(ji)術攻關，已完成傳感器(qi)芯片(pian)各(ge)類單項(xiang)試(shi)驗(yan)，性(xing)能指標精度(du)達到0.1℃，抗干擾(rao)能力優于目前(qian)市場主流產品(性(xing)能指標精度(du)為0.3℃)。 因疫情防控、復(fu)(fu)工(gong)復(fu)(fu)產(chan)需要，高性能(neng)耳溫槍(qiang)和額溫槍(qiang)等非接觸式(shi)人體測溫工(gong)具(ju)MEMS紅(hong)外傳感(gan)器(qi)有了上(shang)百(bai)萬顆(ke)(ke)的(de)訂貨需求。華東(dong)光(guang)電集成器(qi)件研究(jiu)所(suo)自1月(yue)(yue)底(di)緊急(ji)調整產(chan)品(pin)研制(zhi)計(ji)劃，提前復(fu)(fu)工(gong)復(fu)(fu)產(chan)，組建(jian)黨員突擊隊和技術攻關小組，24小時(shi)不間斷輪班(ban)開展(zhan)研制(zhi)工(gong)作，目前已完成傳感(gan)器(qi)芯(xin)片各(ge)類(lei)單(dan)項試驗，預(yu)計(ji)在3月(yue)(yue)底(di)完成芯(xin)片樣品(pin)研制(zhi)。同時(shi)該所(suo)還采購(gou)全自動化組封(feng)裝關鍵設備(bei)、補充芯(xin)片制(zhi)造的(de)關鍵設備(bei)，推動傳感(gan)器(qi)芯(xin)片制(zhi)造、組封(feng)裝的(de)國(guo)產(chan)化，月(yue)(yue)產(chan)能(neng)從目前的(de)2萬顆(ke)(ke)提升到(dao)100萬顆(ke)(ke)以(yi)上(shang)，4月(yue)(yue)初可大量投放市場。 作為國家發改(gai)委MEMS國家地方聯合(he)工(gong)(gong)程實驗室和兵器工(gong)(gong)業集團微系統制造(zao)技(ji)術(shu)創新中心，華東光電(dian)集成(cheng)器件研究所具有(you)MEMS傳感(gan)器芯片設計、制造(zao)、封裝、測(ce)試等(deng)完整的科研能力(li)，通過技(ji)術(shu)創新取(qu)得(de)MEMS傳感(gan)器多項技(ji)術(shu)成(cheng)果，下一步將開(kai)發相關測(ce)溫產品(pin)，滿(man)足疫情防控、復工(gong)(gong)復產等(deng)高(gao)精度人體測(ce)溫需要。 |
